M.安·加里森·达林、珍妮特·L.巴斯编*的《 微纳尺度系统工程》是国际上论述系统工程方法在微 纳技术中需求、发展和应用的**本专*,共分为4 部分。**部分阐述了系统工程的基本概念及微纳技 术这一主线,包括微纳技术概述、系统工程简介、系 统工程过程和敏捷系统工程;第二部分讲述了微纳技 术的研发流程,包括尺度效应概述、微机电系统 (MEMS)技术、纳米技术概述、纳机电系统(NEMS) 相关的自上而下和自下而上的纳米组装技术;第三部 分论述了系统工程过程的要素,包括建模与仿真、微 纳尺度接口、系统可靠性、测试与评估、项目的开发 与实现等;第四部分介绍了系统工程对未来微纳技术 发展的应用,包括纳米技术、生物医学微系统、自组 装技术以及对微米纳米技术的预测。本书内容新颖、 数据充实,适合微米纳米技术领域相关的MEMS、纳米 技术、微电子、光电子、传感与测控等领域研究院所 的设计师、工程师、管理者等科技人员,与高等院校 相关学科的科研人员、研究生、高年级本科生以及其 他相关科技人员阅读。