[内容提要]
丁衡高、朱荣、张嵘、董景新、杨拥军等编著的 《微型惯性器件及系统技术》汇集了近年来国内微惯 性器件与系统技术方面的最新科研成果，共 6章，主要介绍微型惯性器件和系统的发展状况，典 型器件和系统的基本工作 原理、实现方法和测试技术等，其中包括振动式硅微 机械陀螺、硅微机械加速 度计、微型气流式陀螺仪、微型热对流加速度计和微 惯性系统技术。
《微型惯性器件及系统技术》可作为相关领域本 科生、研究生和教师的教学参考书，并可供相关的 科技人员参考。
[ 目录]
第1章绪论
1.1 微惯性器件发展历史及技术现状
1.2微惯性器件应用及发展方向
1.3微惯性传感器主要厂商及其特点
参考文献
第2章振动式硅微机械陀螺
2.1 振动式硅微机械陀螺的基本理论及模型
2.1.1振动式硅微机械陀螺的基本原理
2.I.2振动式硅微机械陀螺的典型结构
2.1.3振动式硅微机械陀螺动力学方程
2.1.4线振动微机械陀螺的动态输出特性
2.1.5小结
2.2敏感结构的设计
2.2.1材料特性
2.2.2总体设计
2.2.3关键结构设计
2.3 信号检测、处理和运动控制
2.3.1微小电容检测技术
2.3.2信号处理与提取
2.3.3陀螺运动控制
2.4测试技术
2.4.1振动式硅微机械陀螺主要指标
2.4.2测试方法
2.4.3数据处理
参考文献
第3章硅微机械加速度计
3.1 硅微挠性加速度计
3.1.1梳齿式电容加速度计
3.1.2“跷跷板”摆式电容加速度计
3.1.3“三明治”摆式电容加速度计
3.2硅微谐振式加速度计
3.2.1工作原理
3.2.2结构特点
3.2.3系统组成
3.3硅微静电悬浮式加速度计
3.3.1工作原理
3.3.2结构特点
3.3.3系统组成
参考文献
第4章微型气流式陀螺
4.1 工作原理及模型
4.1.1对流换热原理
4.1.2热敏元件的检测方法
4.1.3系统信号检测电路
4.2微型热对流陀螺
4.2.1器件结构和工作原理
4.2.2系统建模及数值模拟
4.2.3陀螺加工工艺
4.2.4交叉耦合效应及补偿技术
4.3微型射流陀螺
4.3.1器件结构和工作原理
4.3.2数值模拟分析方法
4.3.3陀螺加工工艺
4.4 总结
参考文献
……
第5章MEMS热对流加速度传感器
第6章微惯性系统技术